精密零件加工和切削主要包括超精密車削、鏡面磨削和磨削。它是一種超精密車床的微型車削,配有精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀。切割厚度僅約1微米。它通常用于處理有色金屬材料的球形、非球面和平面鏡。高精度、表面經(jīng)過高度拋光處理。組件。例如,用于處理核聚變裝置的直徑為800mm的非球面鏡具有0.1μm的最大精度和Rz0.05μm的表面粗糙度。
精密零件的特殊加工精度為納米級(jí),即使原子單位(原子晶格距離為0.1-0.2nm)為目標(biāo),也不能采用超精密零件的加工方法。有必要使用特殊精密零件加工的方法,即應(yīng)用化學(xué)??梢?、電化學(xué)能量、熱能或電能等,使這些能量超過原子之間的鍵合能,從而消除工件表面之間某些原子的粘附力、鍵合或晶格變形,從而實(shí)現(xiàn)超 - 精密加工。這種加工有機(jī)械化學(xué)拋光。、離子濺射和離子注入、電子束曝光、激光束處理、金屬蒸發(fā)和分子束外延。
精密部件加工方法的特征在于極其精細(xì)地控制去除或添加的表面層材料的量。然而,為了獲得超精密零件加工的精度,它仍然依賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng),并使用超精密掩模作為中介。例如,VLSI的制版是通過電子束在掩模上曝光光刻膠(見光刻),使光刻膠的原子在電子的撞擊下直接聚合(或分解),然后聚合或未聚合。用顯影劑溶解該部分以形成掩模。電子束曝光制版需要超精密加工設(shè)備,工作臺(tái)定位精度為±0.01μm。
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